在半导体芯片制造的数百道工序中，超纯水 的品质直接影响到晶圆的良率、器件的性能与可靠性。其纯度要求达到了自然界的极限——电阻率需稳定在 18.2 MΩ.cm，且对总有机碳、溶解氧、微粒及细菌含量有近乎苛刻的标准。百惠浦环保，作为中国顶尖的电子级超纯水设备制造商，其先进的生产工厂 与严谨的质控体系，确保了每一套出口至澳大利亚的 半导体超纯水设备 都能满足并超越 SEMI、ASTM 等国际最高标准。

百惠浦超纯水系统如何满足半导体制造的极致需求？

我们的系统采用成熟稳定的 “三级处理” 工艺，每一级都为实现终极纯度而设计：

1.  预处理与初级除盐

    目标： 去除原水中99%以上的离子和大部分有机物。

    工艺： 多介质过滤、活性炭吸附、两级反渗透，配备完整的化学清洗与杀菌单元，为后续精处理提供最佳进水条件。

2.  精处理与离子深度去除

    目标： 将水质提升至兆欧级。

    核心工艺：电去离子。百惠浦采用高性能EDI模块，在直流电场作用下实现离子的深度去除与水的连续纯化，无需使用酸碱再生，运行环保且稳定。

3.  最终抛光与终端精制

    目标： 达到18.2 MΩ.cm的理论极限值，并严格控制TOC、微粒和微生物。

    工艺： 精密抛光混床、膜脱气、紫外线氧化以及终端超滤。此环节在百惠浦无尘生产车间内进行模块化组装，最大程度避免外部污染。

百惠浦生产工厂的卓越品质保障

无尘装配环境： 核心抛光单元与管道在ISO Class 7或更高等级的无尘车间内进行装配与焊接，杜绝外部微粒污染。

材料与工艺： 全部采用316L及以上等级的电抛光不锈钢管材，采用自动轨道焊接，保证内壁光滑、无死角，抑制细菌滋生。

全自动智能控制： 系统配备先进的SCADA控制系统，实现24/7不间断监控、数据记录与报警，支持远程访问，满足澳大利亚客户对智能化管理的需求。

专为澳大利亚市场打造的优势

标准符合性： 系统设计与制造全面符合澳大利亚本地电气、安全及水质标准。

高可靠性设计： 充分考虑澳大利亚部分地区电网与水源的波动性，系统具备强大的抗冲击能力和备用设计，确保芯片生产线不间断运行。

快速响应服务： 依托本地合作伙伴，提供及时的安装指导、调试服务和长期运维支持，确保系统生命周期内的最佳性能。

选择百惠浦，就是为您的芯片制造选择最纯净、最可靠的水源。让我们用源于顶尖工厂的卓越设备，助您在澳大利亚的半导体事业稳步前行。

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