UPW系统排水与零排放需求

超纯水系统运行中会产生反渗透浓水、EDI浓水、树脂再生废液与膜清洗废水等排水，约占系统进水量的20%-35%。随着环保政策趋严，越来越多半导体产业园区要求晶圆厂实现废水零排放或近零排放。

将UPW系统排水纳入厂区废水整体治理体系，构建协同零排放方案，是满足合规要求与降低综合成本的必然选择。

零排放协同方案设计

百惠浦环保提出的基于UPW系统的废水零排放协同方案包含以下要点：

分质回收：RO浓水优先回用于冷却、冲洗等低要求环节，减少进入浓缩系统的水量；

EDI浓水回流：EDI浓水直接回用至RO进水端，提升系统整体产水率；

再生废液减量：采用EDI替代混床减少再生频次，再生废液经中和后进入浓缩系统；

浓缩减量：反渗透/DTRO二次浓缩，将高盐废水减量至原体积的5%-10%；

蒸发结晶：MVR蒸发结晶回收工业盐，冷凝水回用于纯水系统原水，实现零排放闭环。

协同方案的运行效益

该协同方案将全厂废水回收率提升至95%以上，外排量趋近于零，有效支撑园区零排放政策合规。蒸发结晶回收的工业盐可作为副产品外售，抵消部分运行成本。

某晶圆厂实施该方案后，全厂取水量下降40%，废水外排量降低98%以上，吨水综合成本在三年内实现与常规处理方案持平，兼顾了环保与经济效益。

基于UPW系统的废水零排放协同方案，实现了超纯水系统与厂区废水治理的深度协同，是半导体工厂迈向绿色制造的重要路径。百惠浦环保提供从水质分析、工艺设计到EPC总包的全流程零排放解决方案，联系电话：13631765076。